Řízení procesu leptání křemíkových desek ve výrobním závodě společnosti INTEGRAL - Minsk, Bělorusko
Popis reference
- Země: Bělorusko
- Název akce: Řízení procesu leptání křemíkových desek ve výrobním závodě společnosti INTEGRAL
- Rok realizace: 2015-16
- Řídicí systém: 2 x Tecomat TC700
- Programové vybavení: Mosaic, 2 x Reliance 4 Control pro 500 datových bodů
- Realizace: CSVG a.s., GEOVAP, spol. s r. o.
Společnost INTEGRAL je globální výrobce zaměřený na dodávky integrovaných obvodů, polovodičů, LCD displejů, lékařského vybavení, digitálních hodinek a dalších produktů.
V roce 2015 byly v této společnosti nasazeny dva chemické boxy pro leptání křemíkových desek, nichž je pro řízení použit náš řídicí systém Tecomat TC700. Implementaci provedl náš zákazník, společnost CSVG, a.s. společně s firmou GEOVAP, spol. s r.o., která se na projektu podílela dodávkou inženýrských prací, tj. zpracováním programového vybavení řídicího systému a vizualizačního projektu SCADA systému Reliance.
Řídicí systém
Tecomat TC700 řídí kompletní proces, který spočívá v odstranění fotocitlivého laku z křemíkových desek po operaci fotolitografie a odstranění zbytkových prachových částic menších než jeden mikrometr z povrchu opracovávaných křemíkových desek. Odstranění fotolaku probíhá při teplotě 120 °C v roztoku kyseliny sírové a peroxidu vodíku. Systém se zde stará o doplňování úbytku peroxidu vodíku v leptacím roztoku a regulaci teploty procesu a výšky hladiny.
V dalším kroku řídicí systém vyhodnocuje koncentraci roztoku a na základě požadavku udržuje koncentraci roztoku, teplotu a výšku hladiny stálé. Manipulaci zde provádí manipulátor, který je rovněž řízen našim systémem TC700 s využitím dvouosého modulu GT-7752.
Všechna data ze systému TC700 jsou předávána do průmyslového dotykového počítače, na němž je nainstalován modul Reliance 4 Control. SCADA systém Reliance umožňuje obsluze prostřednictvím vizualizačních obrazovek sledovat stav a průběh procesu, nastavovat parametry (včetně receptur), monitorovat alarmová hlášení a prohlížet historická data pomocí grafů či tabulkových sestav.
Více podrobností o této aplikaci naleznete na stránkách www.reliance.cz.